伺服電機(jī)：微米級的龍門滾珠絲杠傳動，高精度的檢測和校正系統(tǒng)

背景：目前需要做一個龍門結(jié)構(gòu)的設(shè)備，利用伺服電機(jī)+THK研磨滾珠絲杠+THK直線導(dǎo)軌傳動，運動尺寸XY分別為1米x1米左右。需要保證兩根X軸的平行度、X和Y的垂直度。對X軸雙驅(qū)而言，運動負(fù)載90KG左右。

項目要求運動的重復(fù)精度需要達(dá)到微米級，運動速度達(dá)到300mm/s。

（直線電機(jī)由于成本和空間的原因，被直接否決了。）

需求：不知道有沒有什么高精度的檢測和校正系統(tǒng)，需要怎么設(shè)計？

有了伺服電機(jī)，所以光柵尺定位也被否決了。一開始考慮用千分表慢慢打表，但因為跨度很大，安裝的工裝可能會變形。激光測距也沒有使用過。

有沒有大神指點指點?。勘热缡裁磿扑]、供應(yīng)商推薦、方法推薦之類的都行。

社友觀點

最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導(dǎo)軌，分辨率最高的光柵尺，高分辨率的西門子伺服電機(jī)，剛性聯(lián)軸器，高水平鉗工，所有這些都是必需的條件，但是也未必能做到微米精度，你這個雙驅(qū)更不現(xiàn)實，增加了同步控制難度，最好單驅(qū)。

你們這個微米精度是誰提出來的？這么高精度。

ID：丹楓911

系統(tǒng)上要做成全閉環(huán)系統(tǒng)，如果只是伺服電機(jī)只是半閉環(huán)系統(tǒng)，不是真正的全閉環(huán)，全閉環(huán)必須上伺服電機(jī)+光柵尺，結(jié)構(gòu)上用大理石，橫梁要輕量化，要雙驅(qū)。

一般1m長的導(dǎo)軌的平行度也就是可以做到0.01，要達(dá)到微米級的精度光靠機(jī)械結(jié)構(gòu)是做不到的，所以要用激光干涉儀打精度做補(bǔ)償。

不知道你的運動方式是怎樣的，如果是點對點的話，那就5mm間隔做補(bǔ)償，最重要的是系統(tǒng)和算法，國產(chǎn)機(jī)床為什么比不上德國和日本的，主要原因還是補(bǔ)償算法做不好，以及系統(tǒng)響應(yīng)速度慢，高精度的機(jī)床都是高速算法+高速響應(yīng)才能做好補(bǔ)償?shù)摹?/p>

ID：hxglty

驗證重復(fù)性的方法可以使用千分表試試，但是這個也是虛的不是準(zhǔn)確的，目前比較好的驗證方法就是激光干涉儀驗證。

這里要說明一下真要達(dá)到微米級重復(fù)精度要求的企業(yè)必定會上更高的儀器設(shè)備做驗證。

樓主這個方案精度要求肯定需要用到全閉環(huán)反饋尺，要不就是只是提出要求實際未必是這個要求，順便給樓主介紹一下磁柵尺，重復(fù)精度1μm。

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